电厂机组油动机及伺服阀经过长时间的运行，控制油EH系统的油质会产生变化，液压系统的很多关键部件会受到杂质的侵害，液压元件会受到一定程度上的破坏。同时，油动机内部元件（如密封组件等）及油动机活塞杆组件等由于长期工作会产生磨损老化现象。因此，必要的定期油动机及伺服阀清洗维护势在必行。三菱燃机油动机选用MOOG品牌油动机，通过油动机精准控制燃机燃料量及空气量的投入，对控制精度要求极高，油动机的控制精度及执行到位，直接影响燃机燃烧器内的混燃效率，同时对机组的出力，本体热部件的使用寿命，机组NOX的排放量也有直接影响。